冠合ショートファイバー硬質フェルト：SiC誘導炉の超性能守護者
発行時間: 2025-12-30訪問済み:19 回数
超高温純度保証
- 灰分 <10 ppm、金属不純物 <5 ppm（半導体グレード純度）、シリコン蒸気侵食を完全遮断、SiC結晶マイクロパイプ密度を83%低減。
- 気液複合コーティング技術による「分子シールド」構築、シリコン耐浸透性を300%向上。
- 高温純化プロセスにより、2300℃結晶成長環境での汚染ゼロを保証。
精密熱場制御
| 性能 | 冠合ショートファイバー硬質フェルト | 従来材料比較 |
|---|---|---|
| 熱伝導率 | 0.038 W/(m·K) | 0.15 W/(m·K) |
| 温度均一性 | ±2℃（2300℃全工程） | ±15℃ |
| 応答速度 | 高周波電磁場に適合、ミリ秒単位温度調整 | 3 - 5秒遅延 |
段階的空孔構造（50 - 300μm）により熱エネルギーを封じ込め、結晶成長速度を40%向上、単炉生産性を25%向上。
省エネルギー・長寿命の模範
- エネルギー消費大幅削減：熱効率45%向上、単炉あたり年間80万kWh省エネ（CO₂排出量630トン削減相当）。
- 寿命飛躍的向上：耐熱衝撃性 >1200回（ΔT = 2000℃熱サイクル）、交換頻度を月1回→年1回に低減、年間メンテナンスコストを200万元削減。
- 剛柔耐損傷性：3次元繊維強化構造により電磁振動変形を抑制、2300℃での熱収縮率 <0.3%。
顧客実証事例
SiCウェーハメーカーが冠合ショートファイバー硬質フェルトを採用した結果：
- エネルギー消費：結晶1トンあたり電力消費を52%削減（1580 kW·h → 760 kW·h）。
- 歩留まり：6インチ基板の欠陥率を15%→3.8%に低減。
- コスト：熱場部品の年間支出を300万元削減。
冠合新材料——ナノスケール炭素構造で、第三世代半導体熱場の新基準を定義！